为深化半导体设备领域育人实践，精准对接国家集成电路产业发展战略需求，筑牢专业人才培养根基，11月22日下午，我校特邀浙江大学极端光学技术与仪器全国重点实验室首席科学家、中国科学院上海光学精密机械研究所研究员王向朝教授，为在场师生带来一场题为《光刻设备》的深度前沿讲座。课程面向我校微专业学生、DBU大学研究生、企业工程师以及对此课程有浓厚兴趣的学生，通过线下与线上同步授课的形式，吸引了百余人的参与。课程由数理学院教师柴元老师主持。
授课环节中，王向朝教授以《光刻设备》为题，为师生们呈现了一场兼具理论深度与实践温度的学术盛宴。课程围绕五个方面展开：从集成电路的发展与摩尔定律的底层逻辑切入，梳理集成电路产业从萌芽到壮大的演进历程，深入剖析光刻技术的基本原理与核心机制，追溯光刻技术从传统工艺到先进制程的革新路径，最后全景式呈现光刻机整机系统的构成架构与协同机理。王向朝教授凭借扎实的理论功底、丰富的工程经验与生动的讲解风格，将复杂的技术原理转化为通俗易懂的知识要点，既解读了光刻技术的科学内核，又分享了产业一线的实践案例与发展趋势，让在场师生对光刻设备的技术体系与战略价值有了全面而深刻的认知。
课堂互动环节，师生们围绕光刻设备的构造等问题积极提问，王教授逐一细致解答，现场学术氛围浓厚。
王向朝是浙江大学极端光学技术与仪器全国重点实验室首席科学家，光电科学与工程学院教授，中国科学院上海光学精密机械研究所研究员。他曾担任国家科技重大专项 “极大规模集成电路制造装备及成套工艺”（02专项）总体专家组成员、光刻机工程指挥部专家，长期深耕国家战略需求领域，以项目负责人身份牵头完成二十余项国家与省部级科研任务，在高端光刻机技术、超高精度光学测量技术等“卡脖子”领域取得一系列具有国际先进水平的标志性成果，为我国半导体产业突破技术封锁、实现自主可控提供了核心支撑，创造了重大经济效益。在学术研究与成果转化方面，王向朝教授硕果累累，累计斩获国际与国内授权发明专利180余项，在国内外顶级期刊发表光学与光刻领域学术论文560余篇，出版《光刻机像质检测技术》等3部学术专著，构建起系统完备的理论体系与技术图谱；在人才培养领域，他悉心耕耘，培养博士研究生60余名，其中包括我国高端光刻机整机技术领域的第一批博士研究生，为产业输送了大批兼具理论深度与实践能力的顶尖人才。此外，王向朝教授还曾担任全国政协委员、上海市政协常委，积极为半导体产业发展建言献策。
本次《光刻设备》专题课程不仅为师生搭建了与行业顶尖专家直接交流的平台，丰富了半导体设备领域的教学内容，更助力学校进一步完善相关专业人才培养体系，为我国集成电路产业培养兼具理论基础与实践视野的高素质人才提供了有力支撑。
数理学院 供稿